近日，國家工業和信息化部下發意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產業化等16個項目，擬作為《中國制造2025》2017年重大標志性項目。其中，由清華大學與淄博高新區合作建設的MEMS傳感器產業化項目位列其中，這是山東省唯一入選的項目。

    MEMS傳感器產業化項目是國高（淄博）微系統科技有限公司、淄博高新技術產業開發區MEMS研究院等單位共同建立的國內一流的MEMS代工線。MEMS代工線是國內首家專業化的中試代工平臺，也是山東省第一家批量生產微型傳感器的專業化平臺。MEMS技術是特征尺度跨越微米和納米兩個鄰接微小領域的高新技術，也是信息化、智能化的關鍵核心技術，MEMS傳感器技術具有微型化、低成本、低功耗、高可靠、高性能等諸多優勢，是當今世界制造業的趨勢和熱點。

    據MEMS傳感器產業化項目負責人介紹，國高（淄博）微系統公司擁有先進的代工模式，從自主知識產權、生產控制等方面全方位入手，以智能制造設備應用、裝置自動化方案為基礎，在實現各項生產經營管理工作信息化的同時，有效打通了企業智能制造的數據通道。

    MEMS孵化器已建成10萬平方米，形成穩定的45個單項工藝和17個產品工藝流程。國家高新區MEMS研究院成立了國內MEMS領域15名頂尖專家組成的專家委員會，負責高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計等器件研發，引領平臺的發展方向及工藝評審。去年9月份，清華大學、同方股份、淄博高新區三方達成戰略合作協議，研究院建設、平臺發展、基金設立、項目落地、產業園區建設等協議內容的各項工作正在快速推進。高新區將在現有加工設備條件和環境下，開展MEMS制造技術封裝與裝配過程中關鍵技術的研究和開發，真正解決其關鍵技術形成核心發明專利，為進一步的產業化奠定良好的知識產權基礎。