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半導(dǎo)體激光寬帶淬火中多道搭接問(wèn)題研究

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關(guān)鍵詞: 激光,激光表面處理,激光切割

      采用矩形光斑進(jìn)行激光淬火,具有較高的淬火效率和淬火均勻性,通過(guò)寬帶矩形光斑進(jìn)行多道搭接激光淬火,是實(shí)現(xiàn)大面積激光淬火強(qiáng)化的重要途徑。然而,寬帶多道激光淬火過(guò)程中,搭接帶間的軟化問(wèn)題是困擾其應(yīng)用的關(guān)鍵,本研究對(duì)此進(jìn)行了工藝優(yōu)化研究。

      一、試驗(yàn)材料及設(shè)備

      試驗(yàn)所用材料為42CrMo,采用CT-150半導(dǎo)體激光專(zhuān)用吸光涂料,噴涂在樣品表面,提高其吸光率。激光設(shè)備為3kW機(jī)器人半導(dǎo)體激光強(qiáng)化系統(tǒng),聚焦鏡為15mm×2mm的寬帶鏡。

      利用XJL-03型顯微鏡進(jìn)行熔覆層組織分析,采用HVS-1000A維氏硬度計(jì)測(cè)定熔覆層的顯微硬度,測(cè)量時(shí)載荷0.2kg,加載時(shí)間為10s,分析淬火帶及搭接帶的硬度分布規(guī)律。

      二、試驗(yàn)結(jié)果

      激光功率選擇2kW,掃描速度選擇8mm s-1,光斑為15mm×2mm,改變搭接量分別為0.5mm、1mm和2mm進(jìn)行試驗(yàn)。不同搭接量及不同深度處,硬度曲線圖。

    圖1 搭接量為0.5mm、離表面不同距離處的硬度分布圖

    圖2 搭接量為1mm、離表面不同距離處的硬度分布圖

    圖3搭接量為2mm、離表面不同距離處的硬度分布圖

      線分布分別如圖1,2,3所示。從圖中看出,在不同淬火層深處,三種不同的搭接量都導(dǎo)致一個(gè)軟化帶的形成,將圖中結(jié)果進(jìn)行整理,軟化帶的寬度分別見(jiàn)表1所示。

      表1 不同搭接量和不同層深處軟化帶的寬度

      三、結(jié)論

      搭接0.5mm,1mm,2mm時(shí)表面軟化帶寬度分別為0.7mm,1.1mm和1.2mm,軟化帶的硬度差別不大,約為HV400-440,但是搭接0.5mm,1mm時(shí),搭接區(qū)域硬化層底部存在未淬火的三角形區(qū),硬度僅為HV240,三角形面積隨搭接量的減小而增大。因此,最優(yōu)化搭接參數(shù)為搭接量為2mm,即搭接率為13.3%。(作者:武漢武鋼華工激光大型裝備有限公司 莫衡陽(yáng)、熊大輝、王喜、王愛(ài)華)

    (審核編輯: 小王子)

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