德國佛羅恩霍夫電子納米系統研究所(ENAS)與克姆尼茨工業大學(TU Chemnitz)攜手，共同研究如何將大型且笨重的實驗室設備縮小到微米或納米級規模。上周，在德勒斯登(Dresden)參加歐洲半導體展 (SEMICON Europe)，研究人員們展示了一款基于微機電系統(MEMS)反射與繞射光閘的最新微米與納米級光譜儀。 

　　Fraunhofer開發出可攜的手持近紅外線光譜儀，利用MEMS技術降低尺寸與價格，可取代當今所用的大型、昂貴設備。

　　佛羅恩霍夫協會(Fraunhofer Gesellschaft)擁有67所機構遍布德國，每個機構各專注于不同的應用與技術，總共雇用了23,000名科學家與工程師，研發預算高達20億美元，其中的30%來自政府資助，其他70%則來自與產業的合作。

　　基于MEMS的光譜儀有兩種尺寸——小型與微型級。較大尺寸的機型大約有鞋盒的三分之一(相形之下，現有的實驗室光譜儀尺寸相當于行李箱大小)，利用 MEMS光學干擾濾波器，廣泛涵蓋3-11微米波長。取決于所使用的干擾量級，全寬/半高(FWHW)帶寬大約可達到50-200nm的納米級。

　　微型MEMS光譜儀的完整偵測模塊，采用TO-8封裝

　　電子可調的通頻帶利用2個相等且可移動的反射載子，達到70%以上的最大透射率，可讓施力于反射間隔上引起的振動與重力最小化。

　　目前用于微型光譜儀中最小Fabry-Perot干涉儀(FPI)的芯片尺寸約 7mm x 7mm x 0.6mm

　　較大的光譜儀可用于取代實驗室中不需要達到最高靈敏度或光譜范圍的光譜儀，或是作為取代某些特定應用光譜儀的理想選擇。其他應用包括工業工藝光譜儀、沼氣廠房控制、燃油監測系統以及食品質量分析。

　　較小的光譜儀基于Fabry-Perot干涉儀(FPI)，可打造足以塞進TO-8封裝的小尺寸。這款FPI芯片尺寸為7 x 7 x 0.6mm2，用于擴展標準固定波長多色紅外線探測器的功能。其極低價格和小尺寸使其適于紅外線光譜的大量應用，包括光譜成像、醫療測量、工業氣體分析儀、衰減式全反射(ATR)傳感器、手持式分析儀、傳感器網器、警示與安全系統等。